本文研究了超导滤波器制备过程中各环节对YBCO超导薄膜性能的影响，并进行了测试和分析，系统地研究了氩离子束刻蚀对YBCO超导薄膜的物理特性的影响，制备出了高性能的超导滤波器。本论文对光刻工艺步骤及制备过程中常出现的问题和解决的方法做了详细的分析讨论，通过大量实验的对比和分析，总结出一套制备超导滤波器的实验参数。针对所使用的高温超导薄膜材料，分别设计出了两种刻蚀方法——湿刻和干刻的制作流程，对超导滤波器馈线的金电极制备也通过光刻来实现。高温超导滤波器的封装也是影响超导滤波器性能的重要环节之一。本文详细讨论了封装盒设计应该注意的细节，避免影响超导滤波器性能的因素出现。成功地应用超声点焊的方法解决了PIN接头和高温超导滤波器电极的连接，达到较小的接触电阻和较好的机械强度。