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ZnO 是一种宽带隙半导体（3.37 eV），激子束缚能高达60 meV，这使得 ZnO具有高效的，源于激子的紫外发射，并使得ZnO在短波长激光二极管、紫外探测器等方面有着广泛的应用前景。到目前为止，人们已经采用激光脉冲沉积，磁控溅射，金属有机气相沉积等技术来制备ZnO。从提高ZnO发光质量和调整ZnO性质的角度出发，本篇论文采用等离子体辅助电子束蒸发技术，制备金属锌和ZnS：Mn薄膜，然后进行热氧化，获得了ZnO和Mn钝化的ZnO：S薄膜，研究了氧和氩等离子体辅助对电子束蒸发沉