在半导体晶圆工厂工艺生产制程中所使用的气体大多数为毒性、腐蚀性或易燃性的特殊气体,一旦这些气体发生泄漏,如果没有报警,会给现场工作人员带来极大的安全危害,因此特殊气体监控系统在半导体晶圆工厂中起着非常重要的作用,它能实时地显示气体泄漏的信息并且及时地报警,让监控人员能够及时地进行下一步处理。本论文，目的在于设计一个优化的半导体晶圆工厂特殊气体监控系统。这个系统用来侦测晶圆工厂内的有毒有害气体泄漏以及地震发生,及时地进行气体关闭联锁反应,并且及时地给工作人员报警,让人们可以及早地进行灾害紧急应变处理。整个系统是根据晶圆工厂所使用的特殊气体以及特性,气体供应的路线,和工艺制程机台的摆放,进行晶圆工厂内的气体检测,监控,报警,以及联锁关闭控制系统的优化整合设计。本系统的设计最终通过以太网络,冗余的PLC控制,对现场的气体检测器进行数据收集和信号传送,并整合报警设计流程实现气体关闭联锁功能,确认其效果,达到设计的要求。