高频等离子体化学气相淀积法TiO超细粉的制备及实验装置研究

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该文根据热力学和动力学分析,以TiCL<,2>+O<,2>为体系,使用高频等离子体化学气相淀积法;制备TiO<,2>超细粉的成核温度范围为1500~1836K .
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