目前,光学玻璃因其良好的性能在航空航天、电子、军事等领域得到广泛的应用和研究,这导致光学玻璃的需求量日渐增长,同时对工件的表面质量也提出了更高的要求。由于光学玻璃硬度大、韧性差等特点,导致光学玻璃易碎、易崩裂,难以实现高效率、高质量的加工目的。超声振动辅助抛光技术是一种新兴技术,这一技术利用高频超声振动驱动抛光悬浮液中的磨粒与工件表面发生碰撞,达到材料去除的目的,适合相对复杂表面的抛光。本文以BK7光学玻璃为研究对象,对超声振动辅助抛光工艺中材料的去除过程进行深入研究,通过实验验证抛光参数对材料去除率以及表面粗糙度Ra的影响规律。研究的具体内容如下:（1）基于超声波理论建立单颗磨粒的冲击速度模型,以材料产生裂纹时的阀值动能区分磨粒冲击造成材料的去除方式。根据塑性冲蚀理论,建立工件材料在延性去除模式下,材料的去除体积数学模型。基于压痕断裂理论建立材料脆性去除时裂纹长度、深度的数学模型,分析材料两种去除模式下抛光参数对材料去除体积以及表面粗糙度Ra的影响。（2）利用SPH耦合FEM方法对单颗磨粒作用下材料的去除过程进行仿真分析,得出两种去除方式对抛光结果的影响。在单颗磨粒的基础上进行多颗磨粒对材料壁面抛光作用的仿真,分析工件材料被去除一层后工件的表面质量。在多颗磨粒仿真的基础上,对整个磨粒作用下的超声抛光过程进行仿真,通过观察工件表面的节点位移判断抛光后工件的表面质量。（3）通过超声空化理论分析在超声振动辅助抛光过程中空化气泡的运动规律,探究抛光参数对空化效果的影响,建立微射流的冲击模型。对近壁面的空化气泡溃灭微射流冲击工件表面的过程进行仿真,探究不同速度下的空化微射流对材料去除的影响,防止微射流速度过快对工件材料造成破坏,达到促进磨粒对工件表面的材料进行去除和降低工件表面残余应力的目的。（4）搭建超声振动辅助抛光实验台,根据仿真结果得出的抛光参数的范围进行实验,分析各因素对抛光效果的影响,绘制抛光液浓度、超声振幅、抛光工具头到工件表面距离、抛光时间对材料去除率、表面粗糙度Ra的折线关系图,得到各参数的最优值以及在最优值下的表面形貌。通过方差分析证明各参数对实验结果影响的显著性,并且得出在各参数最优值组合下,工件的表面形貌。