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在利用干涉仪对光学元件进行高精度面形检测时,需要对被测光学元件进行位置调整。现有的调整架多为手动调整,这样不仅操作麻烦,而且由于操作人员的运动对调整架的检测结果造成很大的影响,效率比较低。针对这一问题,设计出一套高分辨力、稳定性好的电动二维调整架。文中对调整架的功能进行了详细的分析,通过对关键器件的选型,确定调整架的设计方案。文中着重对角度调整机构进行了设计,角度调整机构通过采用步进电机驱动、蜗轮蜗杆减速、滚动螺旋三级细分实现了调整架高分辨力的指标要求。并应用有限元分析软件Hyper Mes