InAs量子点及InAs/GaSb二类超晶格甚长波红外探测器研究

来源 :中国科学院研究生院 中国科学院大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaochunguang741
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14~20μm的甚长波红外探测在太空中有重要应用。本论文工作针对量子点及InAs/GaSb二类超晶格甚长波红外探测器开展了研究。取得的成果如下:  1.通过在“点在阱中结构”中使用AlGaAs薄层作为插入层材料,实现了甚长波探测,77K温度下,器件峰值为14.1μm,正入射峰值探测率1.1×108cm·Hz1/2/W,δλ/λ为7%;  2.通过优化生长条件及界面控制,得到了质量极高的InAs/GaSb二类超晶格甚长波红外探测器材料,p-i-n型器件结构的X射线衍射卫星峰半宽仅为21弧秒,是目前报道的世界最好水平;  3.研制成功甚长波InAs/GaSb二类超晶格红外探测器器件,77K温度下,器件50%截止波长为14.5μm,量子效率14%,热噪声限制的探测率为4.3×109cm·Hz1/2/W。
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