作为高精度测试装置的激光器,其设计和加工精度、输出参数的准确度、与设计值的偏差程度、工作期间的稳定性将直接传递到被测件的测量中,因此激光器自身输出参数的测试显得尤为重要。本文采用四波横向剪切干涉法对激光束参数进行检测研究,其具有分辨率高、操作性强、稳定性好、对振动不敏感以及结构紧凑等优点。在对目前常用的波前检测方法进行深入研究及讨论的基础上,本文详细论述了四波横向剪切干涉的基本工作原理。实现该原理的二维衍射光栅作为其关键器件,它是在传统的哈特曼波前传感器掩膜板的基础上加工了具有一定相位差值的相位光栅。四波横向剪切干涉系统由一个二维衍射光栅和一个CCD相机组成。当光束通过二维衍射光栅后,在CCD相机的接收屏就会产生剪切光斑,从而形成干涉图。空间载频法对实验装置没有特殊要求,可在动态测量中进行相位与光强的提取。借助于干涉图的处理技术,对其进行相位提取,相位解包,可得到两个正交方向的差分信息,采用Zernike多项式最小二乘法拟合波面,可获得原始波前。为了验证本课题中方案的可行性,本文采用了四波横向剪切干涉测波前,实验中对532nm半导体激光器进行测试,并对测量数据与激光器标称参数对比；并且分别利用四波横向剪切干涉法与ZYGO-GPI干涉仪对被测件进行比对测试,可以得到四波横向剪切干涉法的测试精度为RMS15nm,重复性精度为8nm。实验结果表明,四波前横向剪切干涉法可以精确、快速地测试激光波前信息,为波面检测提供了很好的研究方法。