Cu/ITO/Ag多层薄膜的制备、微结构及光电性质表征

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【摘要】

：

透反射式高电导薄膜是液晶显示器领域重要的电极材料,开发出新型透反射式高电导薄膜已经成为液晶显示器领域中不可或缺的技术。利用高反射、高电导的金属Ag、Cu和透明导电氧化物ITO多层复合可以制备出性能优异的透反射式高电导薄膜Cu/ITO/Ag,因此研究Cu/ITO/Ag多层薄膜将具有重要的研究意义和实用价值。采用直流磁控溅射在室温条件下分别制备出厚度为5.4、10.7和16.1nm的Cu膜和厚度为10

【作者】

：

汪娴

【机构】

：

安徽大学

【发表日期】

：

2012年05期

【关键词】

：

CuTO/Ag多层薄膜微结构光学性能电学性能

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