超精密加工技术广泛应用于核能、航空航天、军工等高精尖领域,常使用该技术加工精密零部件。本文所要加工的电极盲孔加工精度要求很高,普通低精度切削加工方法很难达到加工要求,需要使用超精密加工技术加工盲孔。针对盲孔加工精度高、孔壁薄、加工余量小等特点,运用了薄壁切削弹性恢复理论研究了盲孔薄壁的超精密切削,分析了薄壁切削与传统切削不同之处,研究了最小切削厚度与切屑形成关系,计算了最小切削厚度,并推导了瞬时切削厚度,计算了切削力和切削热。运用了超精密飞切加工技术,通过刀具和工件同时旋转,刀尖轨迹包络形成所要加工的盲孔圆,设计了盲孔加工走刀轨迹,并设计了高精度、高稳定性的密珠轴系(工件轴)。针对电极加工尺寸精度要求、电极结构、材料特性和加工难点等因素,结合了相关工艺参数,研究了盲孔加工时加工顺序、加工余量、毛坯加工方法、刀具材质等,分析了盲孔加工变形,并研究了盲孔变形控制方法。研究了盲孔超精密加工的关键工艺,分析了刀具悬伸长度对刀具模态和刚度影响,采用了喷雾射流排屑换热方法,选择了合理的切削液、雾化角、切削液加载方法、喷嘴高度等参数,设计了电极工件合理的定位夹紧方案,提出了正确的偏置校正方法。实验总结了超精密飞切加工盲孔时的最佳切削参数,获取了最优主轴转速、背吃刀量、进给量,并使用了最佳工艺参数超精密飞切加工了6061铝圆盲孔、无氧铜圆盲孔、6061铝长盲孔电极,检测了电极盲孔表面粗糙度、厚度、平行度和平面度。