论文部分内容阅读
随着精密加工制造业的飞速发展,对精密测量的需求也越来越高。干涉测量凭借自身的原理优势,已经成为精密测量中不可或缺的重要部分。然而,由于干涉测量通常采用相干性很强的激光作为光源,这使得相干信号不可避免地受到相干噪声的影响。因此,如何抑制干涉系统中的相干噪声,提高相干信号质量已经成为干涉测量领域中不容忽视的问题。针对上述问题,本课题提出一种基于相位调制的干涉系统相干噪声抑制方法。通过对光源相位调制,实现光源时间相干性控制。使相干信号处于相干峰的位置,形成相干增强;同时,使相干噪声处于相干谷的位置,形成相