随着电子信息技术的不断发展,集成电路的集成度与复杂度不断提升,对集成电路测试的要求也在不断提高,而集成电路测试技术正在向高度自动化、一体化的趋势发展。ADC(Analog-to-Digital Converter,模数转换器)作为一种混合集成电路,需要测试系统即能实现数字信号的发送和采集,也能实现模拟信号的采集,对集成电路测试设备提出了特殊需求。而随着ADC精度与速度的不断提升,高精度高速ADC测试对集成电路测试设备的需求日益提高。本课题研究内容是高精度高速ADC测试方案的设计与实现,详细分析了从测试方法到软硬件的设计思路。课题的主要研究内容如下:(1)根据ADC的各项指标参数,提出相应的测试方法和对测试设备的指标需求,形成一个综合的测试方案。ADC参数主要分为直流参数、静态参数、动态参数等,其中高精度ADC静态参数和动态参数的测试,对测试条件提出了较高的要求。而ADC本身速度越高,对测试系统的信号带宽、数据传输速率又提出一定的要求。(2)根据测试设备的指标需求选用适合的测试设备,搭建测试系统。本文选择了ESPXIE1000集成电路测试系统,ESPXIE1000是一款支持混合IC测试的ATE设备,在其基础上设计一块DIB板,即可完成大部分数模芯片的测试。但是高精度ADC测试要求高纯度高精度的正弦信号和低抖动时钟,为抑制正弦信号上的噪声和偏置而加入滤波和校准环节,并使用锁相环产生极低抖动时钟。(3)设计配套的测试流程。测试流程可以一次性完成基本的功能测试、直流参数、静态参数、动态参数测试等。其中静态参数测试中需要做大量数据统计,动态参数测试中需要做快速傅里叶变换,而在快速傅里叶变换的过程中又会遇到频谱泄漏等问题,需要加窗函数、做插值等。(4)选用ADC芯片AD9643-250(14bit/250MSPS)进行测试,得到了完整的参数测试结果。该ADC的主要参数有:带宽1GHz、INL±1.5LSB、DNL±0.25LSB、信噪比70.6dBFS、无杂散动态范围85dBc等。本文基于ATE设计了一套高精度高速ADC的完整测试方案,实现了ADC的所有参数测试,满足了高精度高速ADC的测试需求,为高精度高速ADC测试提出了一套完整的测试解决方案。