【摘 要】
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工业水平的发展给环境带来更多有毒有害气体。检测和预报这些气体的浓度对安全生产十分重要,一直是气体传感领域的研究热点。Sn02是最早应用于气体传感器的金属氧化物半导体
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工业水平的发展给环境带来更多有毒有害气体。检测和预报这些气体的浓度对安全生产十分重要,一直是气体传感领域的研究热点。Sn02是最早应用于气体传感器的金属氧化物半导体气敏材料之一。目前,对Sn02气体传感器的研究主要集中在通过掺杂,改变氧化物的微观和宏观结构等增强传感效果。稀土氧化物作为添加剂越来越多的应用于生产生活中。本实验中以ITO玻璃为基体,采用电沉积方法制备La2O3掺杂的SnO2薄膜。通过扫描电镜(SEM)和X衍射(XRD)对其表面形态和成分进行表征。分析表明,制备的传感材料表面颗粒大小均匀,表面积较大,颗粒间空隙较多。从沉积电流大小、沉积时间及氧化时间等方面优化了La2O3/SnO2薄膜的制备。得出最佳制备条件如下:SnCl2溶液浓度为7.0g/L,沉积Sn电流1mA,沉积时间3600s:LaCl3溶液浓度为19.0g/L,沉积电流1mA;氧化温度600℃,氧化时间8h。将La2O3掺杂的SnO2薄膜组装成传感器,采用直流电阻法测定了250-400℃温度区间,传感器对空气中不同浓度C2H5OH气体的响应。研究表明了该传感器在300℃时对50-500ppm的C2H5OH气体响应的灵敏值为27.7-50.4,明显优于目前文献中的响应值。而在相同条件下,该传感器对其它还原性气体(如H2S、H2、 CH3COCH3、NH3等)的响应值较低,实现了对C2H5OH气体的良好选择性。多次反复实验证明La2O3/SnO2传感器对C2H5OH气体响应的重现性良好。此外,本论文还对La2O3/SnO2传感器的传感机理进行了探讨。
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