全球科技蓬勃发展的今天,信息化已成为主流趋势。集成光学作为信息化世界的重要技术成为了众多国内外学者重点关注的领域。平面光波导作为集成光学领域一个重要的研究分支,将平面光波导应用于传感器领域,将为传感器件提供更多的解决方案。本课题旨在构建一个灵敏度高、成本低的基于二氧化硅(Si02)光波导的传感探测系统,研究测试系统的的构建与测量信号的提取与识别,为气体传感器的开发研究提供测试平台并打下深入研究的实验基础。首先,采用PECVD (Plasms Enhanced Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积法)法制备五层平面光波导芯片。后将光波导样品水平置于耦合台上,经激光照射后产生干涉条纹,采用线阵CCD (Charge Coupled Devices,电荷耦合器件)对此干涉条纹进行取样测量,并运用C++语言编程对此干涉条纹进行曲线拟合及数据分析。根据已对光波导样品的实测结果,运用商业软件对波导的芯区厚度、中心层厚度、远场干涉距离进行定量误差分析,发现波导的中间层厚度和波导的芯区厚度对干涉条纹间距的影响具有相同的贡献,远场干涉距离最大。经实际误差分析发现,为减小测试平台的误差,获得最大的测量精度,可通过减小远场干涉距离的测量偏差得到误差较小的干涉条纹间距。