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Cu2ZnSnS4(CZTS)系太阳能薄膜电池是在Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜太阳电池基础上发展起来的新型化合物半导体光伏器件。CZTS系半导体材料,由于其光电性质与CIGS类似,并且所用元素在地壳中的含量均较丰富,避免了像CIGS所用的稀有金属元素In、Ga,因而可作为一种低成本、高效率太阳薄膜电池的吸收层材料,也因此吸引了全球科技工作者的兴趣。目前已开发了基于真空和非真空的多种方法制备CZTS薄膜和电池,并取得了较好的电池效率。针对目前各种制备方法存在的问题,本课题提出一种低成本、绿色环保的溶胶-凝胶法制备CZTS和Cu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSe)薄膜及电池器件,论文所得主要创新性结果如下:1.选用无毒或低毒有机物乙二醇为溶剂,以金属有机盐为原料,采用溶胶-凝胶非硫化法(后退火过程中不使用硫源)制备CZTS薄膜。制备的CZTS薄膜表面平整、致密、没有孔洞;不过,薄膜均贫硫,但通过调节退火工艺可以提高薄膜中硫组分的含量到符合化学计量比。选用乙二醇为溶剂,采用金属有机盐制备CZTS薄膜,制备过程中避免硫化(简化工艺、降低对设备的要求以及减少对环境的污染);有机盐制备的CZTS薄膜较致密、表面没有孔洞;通过预退火对CZTS前驱膜组分影响的分析,寻找到最佳的预退火温度250℃和预退火时间50s;通过后退火对CZTS薄膜组分影响的分析,寻找到最佳的后退火温度530℃和后退火时间30Os; CZTS前驱体溶胶中S/Cu的摩尔比在4.0左右时,可以制备硫组分符合化学计量比的CZTS薄膜,同时制备的CZTS薄膜表面平整、致密。2.溶胶-凝胶后硫化法制备的CZTS薄膜电池效率最高达4.28%;同时探索了非硫化法制备CZTS薄膜电池,其效率为2.1%,说明其方法是可行的,但效率低,需优化制备工艺。制备并优化了电池其它各层薄膜,采用凝胶-凝胶后硫化法制备CZTS薄膜电池,吸收层CZTS在570℃C硫化20min、CdS薄膜厚度~50nm时制备的器件效率达到最大值,为4.28%;同时探索了凝胶-凝胶非硫化法制备CZTS薄膜电池,其电池效率为2.1%,说明这样的工艺路线是可行的,只是还有很多需要优化改进的地方。3.溶胶-凝胶后硒化法可以实现制备CZTSSe薄膜,此方法较传统工艺节省了硫化过程;在制备CZTSSe薄膜的基础上,制得CZTSSe电池,其转换效率为2.92%。通过CZTS溶胶制备CZTS前驱体薄膜,然后经过预退火,最后在硒化炉中硒化,可以制备出CZTSSe薄膜。后退火过程中没用硫化,简化了制备工艺;随着硒化时间的延长及用硒量的增加,x=Se/(S+Se)从0增加到0.91,薄膜的带隙呈现减小趋势,光学带隙(Eg)从1.51减小到1.14eV;制备CZTSSe电池器件的条件较苛刻,尤其是对硒化气压的要求比较高,通过实验得到较好的硒化气压条件:硒化前,硒化炉的石英管内充N2、并使气压达到200Torr,然后关闭石英管两端的气阀、进行硒化;本课题制备的CZTSSe电池器件效率为2.92%,说明这样的工艺路线是可行的,但效率比较低,因此还有很多需要优化改进的地方。