微波光子学是由射频(RF)工程与光电子技术融合而产生的,主要研究如何利用光电子学的方法、器件及其组成的系统来实现微波信号的产生、传输分配、处理。受到片上光互联应用的驱动以及在硅基光电子技术日益更新的背景下,硅基集成实现大带宽、高线性的模拟光链路一直是近年来微波光子领域的前沿热点,这对片上全光通信和片上光子器件互连集成有着十分重要的意义。本文围绕模拟光链路高线性硅基调制器进行深入的理论研究,主要工作包括以下几个方面:1.通过Silvaco器件仿真模拟了硅基调制器的PN结非线性(有效折射率变化和吸收损耗),并结合Mach-Zehnder硅基调制器的调制曲线非线性,严谨推导出Single-MZM模型,并给出了完全抵消三阶交调失真的高线性参数关系。然而该模型有一定的局限性。所以在此基础上将模型进行串并联组合建立了Parallel-MZM模型和Series-MZM模型并详细分析其高线性参数关系。最后在输入光功率和RF功率相同的情况下对三个模型进行对比分析优缺点。2.利用两种模场非线性相互补偿的想法,针对两种最常见的硅基调制器,分别提出了两种高线性微波链路方法:一种是基于双偏振集成的硅基MZM高线性方法,通过TEO模和TMO模在同一个MZM产生的非线性相互补偿;另一种是基于双波长微环调制器的高线性方法,通过两个近似频率的波长信号在同一个微环调制器产生的非线性相互补偿。3.设计了 Parallel-MZM,Series-MZM,双偏振MZM和双波长微环,添加了实验测试的辅助结构,并给出了测试方案。