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该研究论文主要对微电子机械系统的制作工艺-激光LIGA工艺(LIGA工艺技术源自德国,名词LIGA是德文光刻、电铸、模铸的打头字母的组合)以及微电子机械系统的动力学特性研究进行了阐述.文章从激光LIGA光刻实验装置的研制,远紫外激光消融有机聚合物的特性激光投影光刻物理模型的建立以及激光LIGA光刻等方面介绍了激光LIGA工艺的研究过程,最后对微电子机械系统的动力学特性进行了研究.