【摘 要】
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经过多年的发展,微波毫米波技术已经在医学、天文学、军事、工业等领域的关键技术当中占据了一席之地,并且还在以惊人的速度突飞猛进的发展。与其它频段的电磁波相比,微波毫
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经过多年的发展,微波毫米波技术已经在医学、天文学、军事、工业等领域的关键技术当中占据了一席之地,并且还在以惊人的速度突飞猛进的发展。与其它频段的电磁波相比,微波毫米波具有可用频带宽,穿透能力强,保密性高,器件尺寸小等独特的优势。它的这些优势使得如今对于微波毫米波技术的研究呈现出愈演愈烈之势。本文系统的介绍了左手传输线和基片集成波导的一些基础理论和滤波器设计的经典理论。在这篇论文中,利用高频结构仿真软件HFSS对左手传输线和基片集成波导结构的传输特性和泄漏特性做了分析,并且与传统的金属矩形波导进行了对比。利用分析的结果,设计了能够改变电磁波传播方向的太赫兹电磁能量传导表面,然后,本文在对基片集成波导进行了分析的基础上,设计了两种分别基于LTCC工艺和130nm CMOS工艺的太赫兹频段带通滤波器。本论文中报道的基于LTCC工艺的带通滤波器中心频率370GHz,通带范围为362GHz~379GHz,通带内插入损耗0.7dB,回波损耗22dB,带外抑制大于28dB。基于CMOS工艺的带通滤波器的中心频率为680GHz,其通带范围为665GHz-695GHz。通带内的插入损耗为0.8dB,回波损耗20dB,带外抑制在25dB左右。
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