【摘 要】
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垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Lasers,简称VCSELs)以其阈值电流低,易于形成二维阵列等优点在光通信,光互连,光计算等领域得到了广泛的应用。本论文
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垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Lasers,简称VCSELs)以其阈值电流低,易于形成二维阵列等优点在光通信,光互连,光计算等领域得到了广泛的应用。本论文设计并制备了可见光VCSEL阵列,主要内容如下：本论文阐述了VCSEL的基本原理。为了解决VCSEL的电流注入不均匀问题,设计出一种新型的电极结构,使器件在较大孔径时仍能激射。并改进了它的腐蚀槽结构,利用ANSYS软件分析了VCSEL阵列的热特性,模拟得出改进后的腐蚀槽结构更有利于器件的散热；并对不同间距的器件做了模拟,模拟得出阵列单元器件间距为600μm时没有热相互作用,并对激光器的制备工艺包括光刻,湿法腐蚀,湿氮氧化作了深入的研究。最后制备出3×3的VCSEL阵列,实验测得其阈值电流为380mA,连续条件下输出功率为10.2mW。
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