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随着各种精密制造业以及微纳米超精密定位等各种尖端领域不断发展,对所需产品的工艺参数和操作精度等综合性能要求不断提高,分布柔度式柔顺机构作为一种新型的超精密定位机构,合理综合了并联机构和柔顺机构的优点,基于分布柔度式柔顺机构的超精密定位平台不仅承载能力强、运动精度高、构件数量少,还能够实现亚纳米、微米级别的定位精度。所以其广泛应用于各种航空航天和微纳制造等尖端领域,本文以平面三自由度集中柔度式柔顺机构作为研究对象,对平面三自由度集中柔度式柔顺机构进行静态拓扑优化、动态拓扑优化以及多目标拓扑优化,通过优