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精密运动平台被广泛应用于IC制造装备、精密测量和精密机械加工等领域。气浮支承刚度非线性、电机驱动推力波动及隔振系统振动衰减率等关键组件的动态特性及其相互间的耦合效应已成为影响精密运动平台系统精度的主要因素。为探明各关键组件间存在的动态耦合特性并实现精密运动平台多领域建模与仿真,本文深入研究了精密运动平台系统的运动精度建模与分析方法,并基于上述方法,研发了一款面向精密运动平台结构设计的多领域建模软件。实现精密运动平台精度建模的关键是,如何在系统级模型中最大程度的保持各关键组件特性,同时还能反映各关键组