【摘 要】
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扫描近场光学显微镜(SNOM)是一种能探测纳米尺寸的新型显微工具。这种显微镜利用局限在微小孔径上的隐失场提供物体表面形貌的细节，其分辨率可突破传统光学的衍射极限。它的问世不仅会促进物理、化学、生物和材料等学科的研究与发展，还将引起信息技术和生命科学的变革。在信息技术上，SNOM最重要的潜在应用领域之一就是超高密度光信息存储。在这一应用上，一种微型单片集成式SNOM传感器已经被提出，它由PIN探测器
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扫描近场光学显微镜(SNOM)是一种能探测纳米尺寸的新型显微工具。这种显微镜利用局限在微小孔径上的隐失场提供物体表面形貌的细节，其分辨率可突破传统光学的衍射极限。它的问世不仅会促进物理、化学、生物和材料等学科的研究与发展，还将引起信息技术和生命科学的变革。在信息技术上，SNOM最重要的潜在应用领域之一就是超高密度光信息存储。在这一应用上，一种微型单片集成式SNOM传感器已经被提出，它由PIN探测器、VCSEL和金字塔状微探尖三个单元构造而成。目前，制备具有PIN探测器的VCSEL结构在技术上已经成熟
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