HF（辐射波段2.7~3.1μm）化学激光，其输出波长处于中红外波段，覆盖许多气体分子吸收峰，并能实现高功率输出，因此广泛应用于光电对抗、激光雷达、气体检测及军事等领域。HF激光体系的激励反应过程可以是链式化学反应，也可以是非链式化学反应。链式反应HF化学激光的输出能量高，而且可以连续输出，但是不易控制，易爆炸，安全性差。而非链式HF化学激光的激励过程则安全可控、操作方便，而且激光器的结构紧凑易于实现小型化，通过脉冲化运转也可实现高功率输出。通常采用脉冲放电方式实现非链式HF化学激光的激励。大体积均匀脉冲放电是实现HF化学激光体系介质高效泵浦的基本要求，因此是实现足够高激光输出的技术前提。针对常用的电激励非链式HF化学激光体系，利用一种预电离辅助的脉冲平行板放电结构，研究了SF6/C2H6混合工作气体的高压脉冲放电特性，分析了混合工作气体的击穿物理过程，建立了脉冲放电发展机制，得到了脉冲放电注入能量（称为放电能量）与各种放电条件的工艺联系，指出了进一步提高放电体系能量密度和注入效率的工艺方向。　　本研究采用面阵滑闪火花预电离辅助技术，在平行板电极中实现了SF6/C2H6混合工作气体的大体积均匀纳秒脉冲放电，研究了脉冲电源工作特性对脉冲放电特性的影响，以放电均匀性和放电能量为指标，开展了各种放电条件的工艺优化尝试，建立了SF6/C2H6混合工作气体的均匀脉冲放电模式的存在区间。结果表明：所用高压脉冲电源的电压输出特性（电压幅值；脉冲特性）稳定，电压传输效率几乎不受放电间隙实验条件的影响，能够建立起均匀放电模式，但是无法实现放电体积和放电能量的最优化；放电电流峰值随放电气压的增加而减小，放电电流脉冲的宽度由储能电容大小决定，几乎不随其他实验条件改变；放电脉冲的形成时间随着放电气压的增加而增加；这些实验结果预示着SF6/C2H6的均匀脉冲放电为α模式汤森放电。放电能量是决定电激励HF激光脉冲输出能量水平的关键前提，开展了放电能量的工艺优化，详细研究了放电能量随多个放电参数（工作气压、电压幅值、储能电容量、SF6/C2H6混合气体比例）的变化规律，结果表明：（1）放电能量随着气压的增加先增大后减小，存在最大值Emax，即最佳放电气压；混合气体比例对放电能量的影响很小。（2）增加电压幅值有利于放电能量的提高；一定程度上增加储能电容有利于放电能量注入，但放电均匀更难维持；（3）增加放电气压不利于提高放电能量密度。