近年来,作为微机械液压系统的新兴分支,基于压电材料驱动的微型泵在各种领域得到越来越广泛的应用。相对于传统轴向柱塞泵、齿轮泵中的驱动电机或燃油机,新型的压电材料驱动器具有更高能量质量比,并且基于压电材料开发的微型泵有着更加简单的结构,且在工作中没有运动零部件。新型的压电叠堆泵有望作为液压作动系统的驱动源,应用在飞机自适应后缘结构和无人飞行器的操作舵面上。本文基于压电驱动基础理论,阐述了压电叠堆驱动器作动原理和输出特性,因其具有较大输出位移和输出力,提出了一种以压电叠堆作为驱动源的压电流体泵的设计方案,根据液压流体力学原理,对其结构进行了优化设计,最后通过对比实验进行了验证。本文主要进行了以下几个方面的工作:1.阐述了压电叠堆泵的工作原理,选用弹性振动薄膜式的容腔泵结构,设计了压电叠堆泵的装配形式。选用悬臂梁式金属薄片作为被动截止阀,将阀片用螺钉旋紧于阀体上。整个结构装配简单,对工艺要求较低。2.建立了压电叠堆泵各部分组件的准静态工作模型,该模型描述了其机械、电、流体之间的相互耦合作用。根据建立的模型,分析了压电叠堆泵输出流量特性与其结构尺寸、驱动频率及驱动电压之间的关系。3.设计并制作了压电叠堆泵样机,为了提高压电叠堆泵的输出特性,根据液压流体力学相关理论,对阀孔、阀片结构部分进行了优化设计,同时通过对比实验进行了验证。所设计的压电叠堆泵输出流量可达到288.5ml/min,输出压力可达到68kPa,其输出特性较目前所提出的各类压电微泵有较大的提高。4.利用有限元软件分析了弹性薄膜/压电叠堆驱动组件的固有模态和振型,分析了不同厚度弹性薄膜在最佳工作频率振动时,附加模态对泵腔内出入流的影响作用。据此解释了弹性薄膜厚度对压电叠堆泵最优工作频率和最大输出流量有较大影响的实验现象。