作为目前国际上新兴的一种微纳薄膜的制备方法,静电喷雾沉积是使带电液滴在高压静电场的作用下破碎成为大量的荷电雾滴,并在电场力的作用下沉积于收集板上形成微纳薄膜的技术。静电喷雾技术已经被广泛应用于各个领域并且取得了理想的进展。本文将静电喷雾沉积技术应用于玻璃浆料键合中间层的制备过程,引入套筒型辅助电极对雾化射流进行约束,抑制射流在水平方向上运动,减小沉积面积,从而实现射流的精确沉积。探究了静电喷雾过程中的沉积规律。合适的极间距离有利于沉积面积并提高沉积层的均匀性;进行供液速度与收集板运动速度的参数匹配,将有利于表面形貌的优化控制;减小加载电压将有利于减小荷电雾滴荷质比,提高射流稳定性,经优化的实验参数为:极间距离2mm,供液速度300μl/h,收集板运动速度20mm/s,加载电压2kV,为玻璃浆料层制备提供实验基础。设计了带辅助电极的静电雾化系统,仿真分析了辅助电极对聚焦电场的作用机理以及其工艺参数对电场的作用规律,优化了辅助电极静电喷雾沉积系统,进一步提高辅助电极对于带电射流的约束作用;通过辅助电极静电喷雾实验验证仿真结果,辅助电极静电喷雾系统可将玻璃浆料层线宽从794μm减小至330μm。辅助电极抑制了带电射流水平方向运动,有利于引导射流精确沉积减小沉积面积,利用辅助电极静电喷雾系统成功实现五角星以及叠加网状等复杂图案的喷印沉积,并针对图案化沉积过程中叠加沉积行为进行研究,得出其沉积厚度与沉积次数之间关系y=3.045x-3.1333,最终制备出厚度为55.6μm玻璃浆料层。通过本文研究,确定静电喷雾沉积中各因素对于沉积结果的影响规律,明确套筒型辅助电极对于带电射流的约束作用,实现了静电喷雾沉积的精确化控制以及玻璃浆料图案的精确沉积,为静电喷雾在玻璃浆料键合中的应用提供了理论与实验基础。