本论文主要是研究在微电子机械系统(MEMS)中空气挤压膜阻尼效应对微谐振器件影响。微电子机械技术在过去的二十多年里发展非常迅速，出现了很多种微机电器件和系统，其中有一大类硅微谐振器件是利用微机械结构在固有频率处所具有的优良振动性能来工作的。微机械结构的振动一般采用静电驱动方式来驱功，由于静电的能量密度较小，通常需要数十伏的高压才能够驱动机械结构的共振，因此缩小微机械结构与电极之间的间隙是降低驱动电压的有效方法。但是当微机械振动结构和电极之间间隙缩小到一定程度时，空气分子阻尼对微机械振动结构的能量损失影响非常显著，品质因数是衡量这类微机械谐振系统的关键指标之一，其定义为存储于振动中的总能量于每个周期损耗的能量之比。　　 本文提出了低压下微机械谐振器件挤压膜阻尼的二维分子动力学仿真的一种高效算法，这不同于已有的一维仿真模型。运用本文的仿真程序对自由分子区域中微谐振器的空气挤压膜阻尼进行了研究，得到了谐振器件的品质因数与工作环境压力的关系。通过将仿真结果分别与以有的实验结果进行比较，发现本文提出的高效算法具有良好的精确度。