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基于静电驱动与检测技术的力平衡式微加速度计具有线性度好、动态范围大、灵敏度高和可靠性强等优点。由于微加工工艺的不完善,微加速度计的实际参数与设计参数之间总是存在误差,比如支撑梁尺寸误差、梳齿间隙误差、检测质量块质心偏移等。支撑梁误差的存在将导致支撑梁的抗弯刚度不对称,进而使得检测质量块在沿静电力的方向作横向运动的同时还作扭转运动。这样的两自由度复合运动势必会影响到力平衡式微加速度计的性能。本文提出这个新的研究课题,并对此展开研究。论文的主要研究工作和结论如下：(1)以双端固支梁式的平