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本文基于电力电子理论，采用全控型电力半导体器件IGBT，研制了适用于激光晶体生长设备的中频感应加热电源。在综合比较和分析并联谐振、串联谐振的感应加热电源的基础上，提出了系统的总体设计方案。并对系统主电路的元器件参数进行了详细的计算；设计了以CMOS数字锁相环CD4046为核心、以80C196KC作为辅助控制器的逆变控制电路；采用了模糊逻辑与锁相环相结合的控制技术，提高了电源的启动成功率；采用电流、电压双闭环反馈方案，采用槽路电容电压和槽路电流作为反馈信号，从而保证了电源功率的输出精度。与此同时，还设