本文在介绍高精度MEMS加速度计在现代社会中的广泛应用以及简要调研了国内外相关加速度计领域的发展情况后,对MEMS的设计过程和方法进行了系统的研究,并在研究的方法基础上设计实现了一种“三明治”差动电容加速度计结构。具体的内容包括：⑴分析了MEMS惯性加速度计的整体结构,对构成一个惯性加速度计的两大功能模块机械表头部分和处理电路部分分别研究了其基本结构和实现原理。⑵在了解MEMS加速度计工作原理的基础上,分析并确定了评价一个加速度计的主要性能参数,这些参数的指标直接决定了这个器件功能的优劣程度。加速度计作为一个各部分相互作用的整体系统,大部分性能参数都是由机械表头和处理电路两部分共同决定的。⑶分析了实现一个闭环差动电容式加速度计的主要固有参数,并明确了需要在设计过程中进行调整和确定的设计参数。运用相应的理论公式以及ANSYS等有限元建模仿真平台充分研究了设计参数与预定参数对性能参数的影响规律,为加速度计的设计建立了理论依据。⑷根据所确定的设计依据,设计并实现了一种“三明治”差动电容式高精度加速度计的表头结构。对制备出的加速度计样品进行了初步测试分析,实测结果与设计预期符合较好。