气体挤压膜悬浮平台驱动技术的研究

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气体挤压膜轴承具有众多优点,在精密支承领域有着广泛的应用前景,国内外相关的研究很多,但是气体挤压膜轴承工作时需要能够产生微振幅高频振动的执行器和驱动电源,目前对此驱动技术的研究却较少。压电陶瓷执行器具有体积小、输出力大、控制精度高、响应速度快等优点,是一种理想的气体挤压膜轴承驱动器。驱动压电陶瓷执行器的电源要求具有良好的动态特性,但是目前的驱动电源主要针对于压电陶瓷的静态应用,动态性能较差,直接影响了压电陶瓷执行器的动态性能,也影响了气体挤压膜轴承的性能。因此研究适合激励气体挤压膜轴承的驱动电源具有
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