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纳米技术是二十一世纪信息科学的关键技术之一,为未来科技的发展起到了决定性作用，其中纳米量级微结构的制作是纳米技术领域的重要组成部分。纳米材料是以纳米颗粒、纳米线、纳米管为基本单元，在二维或三维空间中采用物理或化学等方法构建的纳米系统。纳米材料中又以高度有序的纳米阵列具有良好的发展前景，这种高度有序的纳米结构除具有一般纳米材料的光、磁、热等性质外，由于它的量子效应突出，比无序的纳米材料表现出更加优异的性能。纳米阵列结构很容易通过外加电磁场实现对其性能的控制，从而使其成为设计纳米超微型器件的基础。对于目