【摘 要】
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该文介绍了一种共路偏振移相剪切干涉非球面测量系统.该系统集共路干涉技术、剪切干涉技术和移相干涉技术的优点于一身,具有抗干扰性强、稳定性好、测量速度快和测量精度高等
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该文介绍了一种共路偏振移相剪切干涉非球面测量系统.该系统集共路干涉技术、剪切干涉技术和移相干涉技术的优点于一身,具有抗干扰性强、稳定性好、测量速度快和测量精度高等优点.文中重点介绍了该系统的数据处理技术.该技术利用Zernike多项式具有在单位圆上正交以及易于跟各种经典象差联系起来的特性,采用了Zernike多项式拟合数据的方法.在拟合过程中,为了避免求矛盾方程组的最小二乘解时直接构造法方程组可能带来的计算误差,采用了求广义逆矩阵的方法直接对矛盾方程组进行处理,达到较高的精度,能够满足仪器的实际要求.计算机仿真和实验的结果,证明该技术的可行性和实用性.最后,该文介绍了数据处理软件的分析设计过程和给出软件的使用说明.该软件界面友好,操作简单.整个非球面测量系统集光机电算于一体,能够实现现场快速测量,其研制对高精度检测与球面相差较大的非球面具有很大的意义.
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