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我国物流法律问题研究
【出 处】
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沈阳工业大学
【发表日期】
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2020年01期
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H型运动平台以其高精度和高效率的优点,在半导体领域、精密加工领域以及其它制造业都被广泛应用。H型运动平台由三台永磁直线同步电机（Permanent Magnet Linear Synchronous Motor,PMLSM）构成。由于PMLSM易受外部扰动、端部效应与非线性摩擦等不确定因素影响,导致H型运动平台系统运行时单轴上产生位置跟踪误差,同时X轴的PMLSM做往复运动产生的扭摆力会对Y轴上的