H型运动平台相关论文
H型运动平台以其高精度和高效率的优点,在半导体领域、精密加工领域以及其它制造业都被广泛应用。H型运动平台由三台永磁直线同步......
本文研究的H型运动平台是由三台结构和参数完全相同的永磁直线同步电机(Permanent Magnet Linear Synchronous Motor,PMLSM)组成,......
本文所研究的对象是由三台完全相同的永磁直线同步电机构成的H型运动平台。虽然在两个Y轴上选用了完全相同的直线电机,但由于电机......
精密加工设备的技术水平对国家科技水平的发展起着至关重要的作用。数控机床由于速度快、加工能力精确等优点,近年来引起了业界的......
由于H型运动平台具有双直线电机共同驱动的平行系统,以及其高精度和高动态性能的优点,近些年已经在越来越多的领域获得应用。本文......
由于H型运动平台两直线电机之间存在机械耦合及负载扰动不同等不确定因素,导致了双直线电机运动不同步的问题。因此,提出了一种基......
建立了双边直线电机驱动的H型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了......
介绍了双直线电机驱动的H型运动平台同步控制特点,使用SimMechanics建立H型运动平台动力学模型,使用模糊逻辑控制算法消除机械耦合......
硅片台是光刻机等IC制造装备的核心部件之一，主流的硅片台结构都采用H型布局，因此研究H型精密运动平台具有十分重要的意义，本文主要研......
