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随着材料薄膜技术的迅猛发展,膜层材料在许多工程领域中得到广泛应用,国内外学者对沉积膜层的脱层与屈曲问题日益关注。在微纳米机电系统器件中,脱层与屈曲是主要破坏形式,本文的主要工作就是研究和分析讨论沉积在有机玻璃基底上的不同厚度的钛薄膜和镍薄膜,在外加轴向静载荷和外加轴向冲击载荷作用下的屈曲过程,这一工作对于其寿命预测具有重要意义。在本文中,用OLYMPUS显微镜详细观测了薄膜表面在静载荷施加过程中随着载荷变化屈曲产生及扩展的过程,对同一试件进行多次循环加卸载,得到了在重复载荷作用下薄膜表面屈