生产调度是制造系统最重要的决策过程之一。在半导体制造业中,光刻机高昂的设备投资使其成为了系统的瓶颈。不同于传统生产调度问题,在光刻加工中需要掩膜版作为辅助资源。由于其稀缺性,掩膜版可以通过物料传输系统从一台机器转移到另一台机器。该问题涉及到作业、机器以及掩膜版,并且受到与顺序相关的调整时间和以及与位置相关的掩膜版传输时间的约束。这种共享资源的方式为制造企业提供了更灵活的生产方式,但同时也使得调度问题变得愈加复杂。本文从现有的生产调度求解方法出发,详细介绍了现有求解方法的优缺点,并光刻车间晶圆加工调度问题的特性出发,分析掩膜版由于其在更换以及转移过程增加的时间成本在加工调度过程的影响,同时考虑圆晶对其专用光刻机以及掩膜版的要求,构建相应的调度模型,并利用改进鼹鼠算法对其进行求解。本文的具体研究内容如下:(1)对近年来国内外关于光刻车间调度问题及调度方法进行梳理,为之后问题的分析求解提供参考。(2)研究带掩膜版调整时间约束下光刻车间单机调度问题,分析其特点并建立了以最小化总加权完工时间为优化目标的整数规划模型,并设计了改进遗传算法进行求解,为后续考虑复杂约束时模型的建立奠定基础。(3)针对双资源约束的光刻车间无相关并行机调度问题,考虑基于网络变量以及基于线性排序的两种建模方式,以最小化总加权完工时间为目标,建立混合整数规划模型,并从理论和实验两个角度比较两种建模方式的优劣。结果表明,针对该问题,将分配与排序变量分离的整数规划与使用网络变量构建的数学模型相比有更高的计算效率。(4)利用鼹鼠框架,针对双资源约束的光刻车间无相关并行机调度问题,根据问题的特性设计了基于贪心规则的工序解码规则,并融合遗传算法与变领域搜索的算子,对原本的鼹鼠算法进行优化改进对问题进行求解。通过将所提出的改进鼹鼠算法与利用数学模型的gurobi小算例求解的对比结果验证算法的正确性。此外,其与变邻域搜索算法以及遗传算法计算的对比结果,展现了算法的良好计算性能。