基于双波长移相干涉仪的拼接镜共相检测技术研究

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望远镜主镜的口径越大,其分辨率越高、集光能力越强。与单体镜相比,拼接镜更易实现大口径或超大口径望远镜。因此,子镜拼接已成为望远镜技术发展的重要趋势。拼接镜共相是实现望远镜预期分辨率的关键,其核心是由粗共相到精共相中的子镜平移误差检测与调整。然而,在拼接镜共相调整的过程中,平移误差的动态范围较大,需组合使用多种检测手段。为了降低拼接镜共相检测的复杂度,本文提出采用双波长移相干涉仪实现拼接镜共相检测的技术方案,旨在同时充分发挥干涉测量高精度和双波长干涉高动态检测范围的优势,由双波长移相干涉仪全程指导拼接子镜粗共相至精共相的共相误差检测与调整。首先,基于共相检测基本理论,分析球面拼接子镜共相误差对整体波前的影响,建立拼接镜成像光学模型,计算其中影响最大的平移误差和倾斜误差的误差容限;其次,对组合子镜的离焦进行理论研究与仿真分析,提出采用双波长干涉仪中的单色激光检测获取拼接子镜离焦误差,并结合白光显微干涉仪对拼接镜进行粗共相检测的方法,据此调整拼接镜接缝处台阶高度至双波长干涉可检测的四分之一等效波长范围内;最后,采用双波长移相干涉面形检测原理对子镜间平移误差及倾斜误差进行精共相检测,拓宽检测范围的同时可保留单波长干涉检测的测量精度。本文基于工作波长为632.8 nm红光和532 nm绿光的斐索型双波长移相干涉仪,以口径76.2 mm整镜中剖出的两块边长为17.5 mm的六边形球面子镜为测试对象,对双波长移相干涉仪实现拼接镜共相检测的技术方案进行实验验证。设计并构建了一套拼接镜共相装校系统,补偿子镜间平移误差至16.0 nm。
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