【摘 要】
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区别于传统的游离抛光及布基或砂带抛光，研磨抛光膜是采用耐水、耐高温并具备一定弹性和强度的高分子材料作为抛光膜的基体，将AL_2O_3或金刚石粉末与聚酰亚胺等高分子材料混合并涂附于基体的一种新型抛光工具。采用研磨抛光膜进行精密、超精密表面加工，具有效率高和绿色加工等优点。随着现代高科技的发展，具有优良性能的硬脆材料的超精密加工技术已经成为普遍关注的焦点，抛光膜在光学仪器、磁性及电子元器件等精密加工制
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区别于传统的游离抛光及布基或砂带抛光，研磨抛光膜是采用耐水、耐高温并具备一定弹性和强度的高分子材料作为抛光膜的基体，将AL_2O_3或金刚石粉末与聚酰亚胺等高分子材料混合并涂附于基体的一种新型抛光工具。采用研磨抛光膜进行精密、超精密表面加工，具有效率高和绿色加工等优点。随着现代高科技的发展，具有优良性能的硬脆材料的超精密加工技术已经成为普遍关注的焦点，抛光膜在光学仪器、磁性及电子元器件等精密加工制造领域具有广泛的应用前景，建立基于Internet的薄膜抛光过程仿真系统对面向加工精度要求选择合理抛光膜
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