SOL-GEL法制备PZT薄膜及其性能的研究

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【摘要】

：

PbZr TiO_3(PZT)作为一种重要的铁电材料,以其优异的压电、介电、铁电、热释电等性能以及能够与半导体技术相兼容的特点,被广泛的应用于微电子学、光电子学和微电子机械系统等领域,是作为铁电存储器、微执行器、压力传感器等器件的理想材料。在大多数情况下,PZT薄膜的结晶取向是任意的,而这不利于PZT薄膜电学性能的最优化。所以如何控制外部条件,以得到能定向生长的PZT薄膜,尤其是如何制备出沿(11

【作者】

：

李士达

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2016年11期

【关键词】

：

PZT 薄膜溶胶-凝胶结晶取向压电材料

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