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具有一定形状与尺寸分布的表面织构在减摩/増摩、减磨损、密封、抗粘附以及疏水等方面表现了巨大的应用潜能,对改善机械密封性能、摩擦磨损性能、热能交换性能以及仿生特性等有广泛的应用前景。表面织构的大面积、快速、高精度加工成为一个研究的热点。掩模电解加工技术是加工表面织构的一种有效方法,但也存在着一些不足:基于光刻胶的传统掩模电解加工中,光刻胶只能使用一次,且需要在加工后去胶,表面织构的加工耗时较长、成本较高;传统掩模电解加工中由于阳极工件表面存在电场边缘效应,加工出的表面织构尺寸均匀性较差、加工精度较低等。针对传统掩模电解加工存在的缺陷,本文开展了高压静液掩模电解加工不锈钢及铜材料表面织构技术研究。本文已完成的主要工作如下:(1)改进了制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)通孔模板的光刻工艺,采用一种优选的双层SU-8胶光刻加工工艺制备光刻胶微柱体模具,并通过抽真空注模技术成功制作出孔径为36μm的PDMS微通孔模板。(2)提出高压静液掩模电解加工过程存在三种产物状态:低产物状态、过渡状态和高产物状态。相比于过渡状态,低产物和高产物状态下都能得到高加工精度的织构阵列。加工出圆形区域直径为40 mm且微坑数量为1.4万个的微坑阵列,微坑的直径和深度分为是105.9μm和9.8μm,标准偏差分别为0.59μm和0.21μm。基于36μm通孔直径的PDMS模板,成功一次加工出具有38万个直径和深度分别为38.2μm和6.1μm的微坑。(3)阐明了高压静液掩模电解加工高尺寸均匀性的原因。建立了传统掩模电解加工和高压静液掩模电解加工电场模型,从产物堆积的角度仿真分析了高压静液掩模电解加工对微坑阵列成形的影响,仿真结果表明,高压静液掩模电解加工可减弱甚至消除阳极表面电场边缘效应,提高微坑阵列尺寸均匀性。加工试验结果表明,高压静液有助于提高微坑阵列尺寸均匀性和底面平整度。(4)开展表面织构的高压静液掩模电解加工应用研究。采用高压静液的方式,在磷青铜表面电解加工出微沟槽和微凸起阵列织构,在带孔工件表面进行微坑阵列的电解加工试验研究并在齿轮泵壳体端面加工出高精度的微坑阵列,其面积率为9.99%,直径和深度分别为107μm和11.9μm,极差分别为1.1μm和0.6μm,标准偏差分别为0.32μm和0.15μm。