ZnO薄膜在蓝宝石衬底上的MOCVD生长、退火及掺杂研究

来源 :吉林大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liying09

【摘要】

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ZnO是具有纤锌矿晶体结构的直接宽带隙多功能半导体材料,它具有多种优良的物理性能,在声表面波、透明电极、光电器件、蓝紫光器件等方面都有较大的应用潜力,因此受到科研人员

【作者】

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杨天鹏

【机构】

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吉林大学

【出处】

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吉林大学

【发表日期】

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2003年期

【关键词】

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ZnO薄膜半导体材料 MOCVD系统蓝宝石衬底晶体生长射频等离子体

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ZnO是具有纤锌矿晶体结构的直接宽带隙多功能半导体材料,它具有多种优良的物理性能,在声表面波、透明电极、光电器件、蓝紫光器件等方面都有较大的应用潜力,因此受到科研人员的高度重视.该文采用射频等离子体新型MOCVD系统,在蓝宝石C面和R面衬底上生长出了高质量的ZnO薄膜,同时还详细研究了退火和掺杂对ZnO薄膜特性的影响,获得了高阻和弱p型ZnO薄膜.

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