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微机电系统(MEMS)是国际上近二十年来新兴的一项热门技术。射频微机械系统(RF MEMS)是目前MEMS期间研究的一个热点,并将对射频/微波技术产生重大的影响。一方面,从制作技术上说,可集成化是RF MEMS技术发展的最初动力;另一方面,随着信息社会的进步,现代和将来的射频/微波系统,对小型化、多功能化、低功耗和低成本化方面的要求不断提高。而RF MEMS器件的高度集成化、微型化和智能化,能成倍地提高射频/微波器件和系统的功能密度、信息密度和互连密度,并大幅度降低了器件和系统的功耗,恰好满足现代射