近年来,科学技术水平不断提高创新,不断产生新兴技术,但人们也开始发现,科技发展逐渐在达到边沿,需要制造更加精密的仪器设备和元件突破壁垒,因此半导体加工技术开始凸显其独特的意义,平面磁悬浮轴承无需接触,因其独特的结构,具有精度高,无摩擦,多自由度,可不借助其它媒介在真空环境进行作业等诸多优点,所以,有望成为光刻机工作台部分的重要组件,但是,平面磁悬浮轴承本身具有强耦合,其模型以及参数具有不确定性,容易受到外部非线性干扰,鲁棒性能难以保证。随着控制技术的进步,如果采用合理的控制策略可有效解决上述问题。因此,平面磁悬浮轴承的控制策略也成为近年来研究的热点问题。本文的主要研究工作分为以下几个方面:首先,进行了相关资料的查阅,对平面磁悬浮轴承国内外的研究现状进行了了解,包括了平面电机以及其支撑方式等内容,通过进行类比,分析了磁悬浮轴承的基本结构原理和平面电机的基本结构原理,以及不同种类的磁悬浮平台定位。然后,对平面磁悬浮轴承进行了具体的分析,因此也对转矩和磁路的相关的部分内容进行学习,运用了反步法的思想和比例积分微分控制等方法,进一步对磁悬浮轴承的悬浮位置控制以及磁悬浮的推力控制等方面进行研究,利用传感器技术确定T型动子在y方向的坐标,以及转角值,进行推导计算,建立其数学模型。再次,对平面磁悬浮轴承的控制策略进行分析,针对一般的控制策略中控制器的参数往往保持固定这一情况,阐述了自适应控制可以在线辨识实现更新的思想,运用反步法的思路,对自适应控制器进行分析,在受到扰动是可能会受到不良影响,针对该方法存在的不足,对确定性鲁棒控制的思想进行了分析,验证其可以对干扰起到抑制作用。最后,对几种控制方法进行分析,为了综合其优点,达到较好的控制效果,提出新的控制方法,一种自适应鲁棒控制的方法,将其应用在平面磁悬浮轴承上,仿真实验,证明其抗扰能力和跟踪性能等都有所改善,鲁棒性有所提高。