【摘 要】
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本文收集与查阅了大量微位移机构资料，对国内外的研究状况做了介绍，并对最新微位移机构做了阐述与比较，在此基础上设计了一种无耦合运动的二自由度微位移工作台，该结构便于微位移
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本文收集与查阅了大量微位移机构资料，对国内外的研究状况做了介绍，并对最新微位移机构做了阐述与比较，在此基础上设计了一种无耦合运动的二自由度微位移工作台，该结构便于微位移工作台尺寸的小型化。本文推导了工作台载荷与位移的关系式；采用有限元方法对工作台的三维模型进行了仿真计算，得到该工作台对应于载荷的位移和应力值，并运用逐步回归分析的方法建立了微动工作台的数学模型。在二自由度微动工作台设计的基础上，探索性地设计了一款三自由度微位移工作台，并运用有限元软件对其运动和应力做了详细分析，研究了它的主要力学性能。所设计的微位移工作台在微操作、生物、医学工程等领域有很大的应用潜力。
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