【摘 要】
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圆盘形光学微腔(微盘)是一类典型的微型光学谐振器-光学微腔,它以圆形对称谐振 腔为基础,利用光的全反射而自然形成腔镜面,结构简单但具有比法布里-珀罗(F-P)型微腔复杂得多
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圆盘形光学微腔(微盘)是一类典型的微型光学谐振器-光学微腔,它以圆形对称谐振 腔为基础,利用光的全反射而自然形成腔镜面,结构简单但具有比法布里-珀罗(F-P)型微腔复杂得多的光学模式.Ⅲ族氮化物是宽禁带半导体化合物,是制备短波长发光 器件极有潜力的新型材料系.该论文以直径为3~10μm的Ⅲ族氮化物半导体多量子阱(MQW)结构GaN/Al(,00.7)Ga(,0.93)N,In(,0.15)Ga(,0.85)N/GaN和In(,0.22)Ga(,0.78)N/In(0.06)Ga(,0.94)N的圆盘形光学微腔为主要研究对象,利用10-300KH皮秒时间分辨光致发光(PL)系统、显微荧图像分析系统和扫描近场光学显微镜对其自发发射性质 及模式的光谱特性和空间分布进行了系统的研究.发展了精细的微腔电子束曝光套刻 技术,对带有微结构的氮化物微盘进行了初步探讨.据作者所知,这是迄今为止报道 的波长最短的半导体光学微盘.
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