化学敏感场效应管是利用化学极化场效应来控制固体材料导电性能的有源器件。具有体积小、灵敏度高等特点,将来可望在分子识别、痕量分析及微生物检测方面得到广泛的应用。首先,采用简单的加工方法,加工、制作出了基于硅片的化学极化场效应传感器。通过测试其稳定性及分子组装前、后器件电流导通性能的变化,发现这种器件具有一定的整流特性,且导通电流随分子链增加而增大。但因制作工艺所限和测试环境的影响,其稳定性较差。在前述工作的基础上,本文采用微电子工艺技术,设计、制作了对有机分子敏感的化学极化场效应传感器,研究了有机分子的结构对化学敏感场效应器件的导通特性的影响。并进行了实验验证,取得了较为满意研究和实验结果。最后,利用分子自组装技术在芯片上组装不同结构的有机分子层,研究了不同链长的饱和羧酸、胺、醇及羧酸盐、烷基氯化铵等有机分子对芯片导通特性的影响,测定了组装不同分子膜后的I-V特性曲线。结果表明,组装不同链长的饱和羧酸、胺、醇等有机分子时,传感器的导通电阻随分子链的增加而减小,而组装相应羧酸盐和烷基氯化铵时,传感器的导通电阻随分子链的增长而增大。当组装结构相同而末端取代基不同的有机分子时,以苯环为骨架结构的系列分子使传感器的导通特性随末端取代基的电负性的减小而减小,而以1’3-丁二烯为骨架的系列分子则使传感器的导通电阻增大。