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本文研究了化学沉积Co-Fe-B-RE合金镀层的电化学性能和分形。采用化学沉积Co-Fe-B合金的最佳配方，分别考察了稀土介入在3％NaCl、3％HCl、50％H2SO4、20％NaOH和10％HNO3这5种溶液中镀层的电化学性能（TAFEL曲线、循环伏安曲线和交流阻抗曲线），得到不同溶液对镀层的腐蚀影响，并对其微观形貌进行观察，用AFM图像计算得到分形维数，对微观形貌进行表述；在化学沉积Co-Fe-B工艺最佳配方基础上添加不同种类稀土元素，考察稀土种类和含量在不同溶液中对电化学性能的影响，探讨含稀土Co-Fe-B合金中稀土对合金镀层工艺、组织结构和性能的作用机理和影响方式，分析其电化学腐蚀，并考虑分形维数与腐蚀的内在关系，以期获得综合性能优异的化学沉积钴基合金软磁薄膜。结果表明：在3％NaCl溶液中，适量稀土的添加能够给增强镀层的耐腐蚀性能，随着稀土Ce添加量的增加，TAFEL曲线自腐蚀电位先正移后负移，循环伏安曲线还原峰电位先负移后正移，在Ce添加量在0.8g／L耐腐性能最好，对于不同稀土，随稀土原子序数的增大，耐腐蚀性能也呈现先增大后减小的趋势，添加重稀土（Gd，Tb，Dy）的镀层耐腐蚀性能优于添加轻稀土（Y，La，Ce）。在3％HCl、50％H2SO4、20％NaOH溶液中，添加稀土后镀层耐腐蚀性能都有所下降，加入重稀土元素镀层耐腐蚀性能降低较少。利用高度相关函数法对AFM图像计算得到分形维数可知，稀土元素Ce介入化学沉积Co-Fe-B合金镀层后，分形维数增大，对应的镀层组织细小，均匀，致密，稀土Ce添加量为0.6-0.8g／L时，镀层分形维数较高。对不同稀土而言，添加重稀土镀层的分形维数大于添加轻稀土的分形维数。分形维数与其镀层在3％NaCl溶液中耐腐蚀能有着对应的关系，分形维数越高，其耐腐蚀性能越大。