【摘 要】
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硅微陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪,它具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、数字化等一系列优点。因此,硅微陀螺仪在航空航天、地质勘探、医学、汽车工业以及机
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硅微陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪,它具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、数字化等一系列优点。因此,硅微陀螺仪在航空航天、地质勘探、医学、汽车工业以及机器人等领域具有广阔的应用价值和前景。与其它陀螺仪相比硅微陀螺仪精度不高,因此,目前主要应用于对精度要求不高的领域,如汽车工业、消费电子等领域。 目前,国内对硅微陀螺仪的研究主要集中在提高精度和稳定性。由于制造工艺等条件短期内很难有大的突破,因而研究陀螺仪误差源和误差机理,从而进一步提高陀螺仪的精度和稳定性有着极为重要的意义。同时,硅微机械陀螺仪由于其材料特性,在输出的精度和稳定性上都会受到温度的影响。温度对硅微陀螺仪性能的影响也一直是惯性导航研究的重点课题。 论文首先研究了微机械陀螺仪的动力学方程。分别在驱动模态和检测模态方向研究了动力学方程,并分析了影响陀螺仪灵敏度的主要因素;然后,研究了振动环形微机械陀螺仪的结构、工作原理及其检测机制;分析了振动环形陀螺仪的检测电路,推导出了陀螺仪灵敏度的公式。以此为基础,研究了降低噪声提高陀螺仪灵敏度的方法。 其次,分析了硅微陀螺仪的主要误差源。运用 Hamilton原理和Lagrange乘子法推导了振动环形微机械陀螺仪的运动方程。在此基础上,分析了振动环形微机械陀螺仪的误差源和误差机理。 最后,通过试验研究了温度对陀螺仪参数的影响。在试验结果的基础上,研究了温度对标度因数和零偏的影响,并建立了温度—零偏模型。基于建立的模型,对由于温度使陀螺仪零偏产生的漂移进行了补偿。通过补偿,有效提高了陀螺仪的稳定性。
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