微型化的产品因其具有质量和尺寸小、能量消耗低、消耗资源少、美观精巧便于使用等优点而在许多未来科技的发展领域中发挥着非常重要的作用。微切削加工技术是先进制造技术领域的前沿课题,对国民经济各高新技术领域的精密零件的研制具有重要作用。采用微细切削技术可以实现多种材料任意形状微型三维零件的加工,有着日益广阔的应用前景。最近几年里,在微机械加工技术相关研究中,微切削尤其是微铣削的发展很快,然而微切削的表面质量一直并不十分理想。鉴于磨削加工可获得良好表面质量的优点,采用一种新型的微机械加工工艺,即微尺度铣磨复合加工,既解决了微铣削加工中工件表面粗糙度较大的缺点,又克服了微磨削加工过程中材料去除率低的不足。本文对微尺度铣磨加工进行开拓性、探索性的研究,着眼于微铣磨加工机理、加工表面质量影响因素及其可实践性以及与微铣削加工的对比性等方面开展研究,本课题从以下几个方面对于微铣磨加工工艺进行探讨。首先研究了微切削切屑形成机理以及微铣磨加工的基本原理和表面生成,通过有限元仿真来再现切削加工过程。基于两种特性相差较大的材料45号钢和A16061-T6,探讨不同加工参数即切削速度和切削深度时切削的应力场,研究微切削加工过程与机理、最小切削厚度和弹性恢复效应以及已加工表面的残余应力对表面质量的影响。采用电镀微粉来制作微铣磨刀具以解决微小刀具的制作问题。结合微铣削的正交试验与微铣磨加工单因素试验的试验路线,讨论加工参数和微铣磨刀具尺寸参数特征对加工表面质量的影响规律。接着对微铣磨加工表面质量进行研究,以工件材料表面粗糙度为主要研究对象,分析微尺度加工表面质量的影响因素。由于微铣磨复合加工结合了微铣削与微磨削加工方法,需探讨这两种加工方法的各加工工艺参数对其加工后表面质量的影响趋势,而且由于合二为一所产生的综合影响以及微铣磨复合加工刀具本身性能使其加工未必达到理想状态,所以在实际加工过程中,影响工件表面粗糙度的因素会呈现出一些不同变化趋势。最后,总结论文的主要结论和课题研究中出现的不足,提出未来的研究方向。