环行器作为微波通信系统中的组成部分,主要用于通信信号的接收和发射,具有不可替代的作用。随着移动通讯技术的飞速发展,环行器的小型化、平面化、集成化成为目前环行器的重要研究方向,薄膜制作技术的进步促进了薄膜环行器器的发展,使用性能优异的薄膜制作的环行器具有体积小、重量轻和易于集成化等优点,对薄膜环行器进行的研究对于环行器的轻量化、小型化具有重要的意义。本文主要研究使用Ba M铁氧体薄膜制备性能优异的薄膜微带环行器。本文首先使用传统结构设计了中心频率为37.5GHz的Ba M铁氧体薄膜环行器,经过优化后的环行器具有良好的环行性能。基于传统的薄膜环行器结构,为了解决传统单层薄膜环行器的单层薄膜难以制备的问题,提出了一种新的环行器结构,利用这种新型结构设计了中心频率为37.5GHz的双层薄膜结构环行器,相比于传统结构环行器,新型结构的环行器表现了更加优异的带宽等性能。然后对环行器的双层薄膜结构进行了深入的研究,得出结论:双层薄膜结构环行器的两层薄膜厚度相等的时候,环行器性能表现最好。最后利用仿真数据制备环行器实物并进行测试,测试结果表明环行器的中心频率有一些误差,回波损耗和隔离度的参数曲线和仿真结果一致,但是插入损耗参数曲线有较大的偏差,导致这种情况主要原因是环行器的外加偏置磁场的磁场强度无法确定、铁氧体薄膜与理想仿真情况存在误差。本文提出的双层薄膜结构环行器可以充分利用现有镀膜技术来提高环行器的带宽等性能参数,相比于传统结构环行器,虽然双层薄膜结构环行器在薄膜制备和微带线制作工艺上更加复杂,但是此种结构环行器的环行效果更好,为以后对环行器的研究提供一定的参考。